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資料情報
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No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求番号 |
資料種別 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
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1 |
野畑 | 001860337 | 410/ホ/1 | 一般図書 | 書庫その他 | | 在庫 |
○ |
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(他の紹介)内容紹介 |
ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。 |
(他の紹介)目次 |
第1章 放電・プラズマの概要(放電・プラズマとは 高度情報化社会を支える放電技術 ほか) 第2章 物質の構成要素と気体(物質の最小微粒子 電子の3つの顔 ほか) 第3章 放電プラズマの基礎(電子と分子の衝突 放電開始 ほか) 第4章 放電プラズマ直接応用(スパッタ薄膜 プラズマCVD ほか) 第5章 プラズマ・プロセス応用(垂直磁気記録 超LSI ほか) |
(他の紹介)著者紹介 |
小林 春洋 大正14年福島県に生まれる。昭和24年東北大学電気工学科卒業、東北大学工学部大学院特別研究生。昭和31年東北大学工学部助教授、日本電気株式会社。昭和33年工学博士(東北大学)。昭和48年日電バリアン(株)(現キヤノンアネルバ(株))。昭和60年(株)トーキン。昭和63年同退職。1971〜1989東京都立大学工学部電気工学科非常勤講師。1991〜2002東京電機大学工学部電子工学科非常勤講師。1992〜1995中央大学理工学部兼任講師(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです) |
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