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蔵書情報

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書誌情報サマリ

書名

絵とき放電技術基礎のきそ　　 Electronics Series

著者名 小林 春洋／著
著者名ヨミ コバヤシ,ハルヒロ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2007.8

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資料情報

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No. 所蔵館 資料番号 請求番号 資料種別 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 庄内006800858427.5/ｺ/一般図書成人室　在庫  ○

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001000680805
書誌種別 図書
書名 絵とき放電技術基礎のきそ　　 Electronics Series
書名ヨミ エトキ ホウデン ギジュツ キソ ノ キソ(エレクトロニクス シリーズ)
著者名 小林 春洋／著
著者名ヨミ コバヤシ,ハルヒロ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2007.8
ページ数 8,178p
大きさ 21cm
ISBN 4-526-05865-3
ISBN 978-4-526-05865-3
分類記号 427.5
内容紹介 電子機器の製造に必要と思われる放電プラズマの基礎をわかりやすく解説するとともに、各応用製品の原理、特長、重要技術ポイントなどについても、図や表、コラムなどをまじえてわかりやすく説明する。
著者紹介 大正14年福島県生まれ。東北大学電気工学科卒業。東北大学工学部助教授、日本電気株式会社、(株)トーキン等を経て退職。著書に「レーザのはなし」など。
件名1 放電
件名2 プラズマ物理学

(他の紹介)内容紹介 ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。
(他の紹介)目次 第１章　放電・プラズマの概要（放電・プラズマとは
高度情報化社会を支える放電技術　ほか）
第２章　物質の構成要素と気体（物質の最小微粒子
電子の３つの顔　ほか）
第３章　放電プラズマの基礎（電子と分子の衝突
放電開始　ほか）
第４章　放電プラズマ直接応用（スパッタ薄膜
プラズマＣＶＤ　ほか）
第５章　プラズマ・プロセス応用（垂直磁気記録
超ＬＳＩ　ほか）
(他の紹介)著者紹介 小林 春洋
　大正１４年福島県に生まれる。昭和２４年東北大学電気工学科卒業、東北大学工学部大学院特別研究生。昭和３１年東北大学工学部助教授、日本電気株式会社。昭和３３年工学博士（東北大学）。昭和４８年日電バリアン（株）（現キヤノンアネルバ（株））。昭和６０年（株）トーキン。昭和６３年同退職。１９７１〜１９８９東京都立大学工学部電気工学科非常勤講師。１９９１〜２００２東京電機大学工学部電子工学科非常勤講師。１９９２〜１９９５中央大学理工学部兼任講師(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)

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